国产乱码一区二区三区爽爽爽,欧美日韩激情综合一区二区不卡,Av在线亚洲欧洲日产一区二区,久久久久青草大香线综合精品

全封閉直線(xiàn)電機模組

行程（可定制）800mm的直線(xiàn)電機全封閉模組。采用獨特的密封方案，與傳統的上部鋼帶密封模組相比，上部可以安裝堅固的蓋板，使其可以更方便與高壽命的應用在激光加工領(lǐng)域或者半導體行業(yè)，內部采用了高分辨的編碼器和無(wú)鐵芯的直線(xiàn)電機，使運動(dòng)可以更佳的順滑和平穩，高精度等級的線(xiàn)性導軌使其機械運動(dòng)的參數也極為優(yōu)異。整體的運動(dòng)過(guò)程中重復定位精度1um，補償后定位精度可控制在2um以?xún)?，整體運行直線(xiàn)度5um以?xún)取?/article>

多軸運動(dòng)平臺

直線(xiàn)電機驅動(dòng)的多軸運動(dòng)平臺，X軸驅動(dòng)采用直線(xiàn)電機加高分辨率編碼器，高精度等級的線(xiàn)性導軌，采用精度和耐用穩定性并存的大理石平臺作為底座。行程600mm，重復定位精度1um，補償后定位精度2um以?xún)?，直線(xiàn)度全行程10um以?xún)?。Y軸驅動(dòng)方式與X軸相同，行程260mm，重復定位精度1um，補償后定位精度2um以?xún)?，直線(xiàn)度全行程5um。Z軸采用伺服電機加高分辨率光柵編碼器的全閉環(huán)控制方案，通過(guò)特殊的內部傳動(dòng)結構使電機外置，保證精度的同時(shí)也減小了整體的空間，Z軸行程16mm，重復定位精度3um，補償后定位精度5um以?xún)?。旋轉軸可連續360°，重復定位精度±2arcsec，定位精度±15arcsec。整體運行平面度±25um，XY軸正交7.5arcsec。此平臺可應用于半導體等對精度有一定要求的行業(yè)。